Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов
статья в журнале - научная статья
Аннотация
В статье исследуются причины, снижающие эффективность одного из основных процессов при производстве полупроводников - химикомеханического полирования (СМР). На основе проведенного анализа и практических экспериментов предлагается возможный путь решения проблемы, основанный на использовании ультразвукового распыления полирующей жидкости. Приводятся технические решения, позволившие разработать ультразвуковой аппарат с возможностью встраивания в существующее оборудование для СМР процесса.
Нужна консультация по подбору оборудования?
Наши инженеры помогут подобрать оптимальное решение для ваших технологических задач. Получите бесплатную консультацию и расчет стоимости.