Хмелёв В.Н., Нестеров В.А., Сливин А.Н., Шалунов А.В.
| Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
| Авторы |
Хмелёв В.Н., Нестеров В.А., Сливин А.Н., Шалунов А.В. |
| Название издания |
20 Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2019 |
| Год публикации |
2019 |
Аннотация
В статье представлены результаты моделирования и разработки ультразвуковой колебательной системы с увеличенной площадью излучающей поверхности рабочего инструмента, равной 27,2 см2, имеющей собственную номинальную рабочую частоту, равную 30,2 кГц. Была разработана конструкция системы и аппарата, которые вводят в технологический объем ультразвуковые колебания с акустической мощностью не менее 550 Вт и интенсивностью более 20 Вт/см2.
Полный текст
