«Способ химико-механического полирования»

Патент РФ № 2305621

Авторы: Хмелев В.Н.; Шалунов А.В.; Барсуков Р.В.; Цыганок С.Н.; Сливин А.Н.

Патентообладатель: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова»

Реферат: Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление.