«Способ химико-механического полирования»
Патент РФ № 2305621
Авторы: Хмелев В.Н.; Шалунов А.В.; Барсуков Р.В.; Цыганок С.Н.; Сливин А.Н.
Дата выдачи: 10.09.2007
Патентообладатель: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова»
Реферат: Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление.
