Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Шалунова А.В., Голых Р.Н.
Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
Авторы |
Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Шалунова А.В., Голых Р.Н. |
Название издания |
XIII Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2012 |
Дата публикации |
02/07/2012 |
Год публикации |
2012 |
Аннотация
В статье представлены результаты экспериментов по определению зависимостей среднего диаметра, среднеквадратичного отклонения формируемых капель и производительности распыления от режимов УЗ воздействия (амплитуда и частота) и свойств распыляемых жидкостей (вязкость и поверхностное натяжение). Полученные зависимости позволяют определить все исходные параметры, необходимые для проектирования УЗКС для распыления различных жидкостей.
Полный текст