Хмелев В.Н., Левин С.В., Цыганок С.Н., Хмелев С.С.
| Тип публикации |
Статья в сборнике (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Левин С.В., Цыганок С.Н., Хмелев С.С. |
| Название издания |
16 Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2015 |
| Дата публикации |
02/07/2015 |
| Год публикации |
2015 |
Аннотация
В статье представлены результаты исследования, позволившие создать устройство контроля амплитуды излучающих поверхностей сложной формы, совершающих колебания с амплитудой более 10 мкм.
Полный текст
