Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Хмелев М.В., Генне Д.В., Гридчин А.В.
| Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Хмелев М.В., Генне Д.В., Гридчин А.В. |
| Название издания |
XII Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2011 |
| Дата публикации |
02/07/2011 |
| Год публикации |
2011 |
Аннотация
В статье рассмотрена проблема создания перспективных средств ультразвукового распыления наноматериалов. Описаны конструкции разработанных ультразвуковых распылителей и даны рекомендации по их практическому применению.
Полный текст
