Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Смердина Е.С.
| Тип публикации |
Статья в сборнике (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Смердина Е.С. |
| Название издания |
International Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2006 |
| Год публикации |
2006 |
Аннотация
В статье исследуются причины, снижающие эффективность одного из основных процессов при производстве полупроводников — химико-механического полирования (СМР). На основе проведенного анализа и практических экспериментов предлагается возможный путь решения проблемы, основанный на использовании ультразвукового распыления полирующей жидкости. Приводятся технические решения, позволившие разработать ультразвуковой аппарат с возможностью встраивания в существующее оборудование для СМР процесса.
Полный текст
