Система управления и контроля ультразвукового технологического аппарата
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В.
Тип публикации | Статья в сборнике (перевод) |
Авторы | Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В. |
Название издания | Tenth international conference and seminar on micro/nanotechnologies and electron devices EDM’09 |
Дата публикации | 02/07/2009 |
Год публикации | 2009 |