Хмелев В.Н., Абраменко Д.С., Барсуков Р.В., Генне Д.В.
| Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Абраменко Д.С., Барсуков Р.В., Генне Д.В. |
| Название издания |
International conference and seminar on micro/nanotechnologies and electron devices EDM 2010 |
| Дата публикации |
01/07/2010 |
| Год публикации |
2010 |
Аннотация
Статья посвящена разработке нового способа контроля амплитуды ультразвуковых колебаний, который может быть использован для непрерывного измерения непосредственно в при реализации технологического процесса. Таким образом, можно контролировать амплитуду механических колебаний излучающей поверхности за счет измерения величины тока, протекающего через механическую ветвь колебательной системы. Проведенные исследования подтвердили эффективность и точность предложенного метода.
Полный текст
