Пути совершенствования ультразвукового технологического оборудования
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Ильченко Е.В.
| Тип публикации | Статья в журнале (перевод) |
| Авторы | Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Ильченко Е.В. |
| Название издания | XV Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2014 |
| Дата публикации | 02/07/2014 |
| Год публикации | 2014 |
