Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов
Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Роман Владиславович Барсуков,Сергей Николаевич Цыганок,Алексей Николаевич Сливин
| Тип публикации | Conference Paper |
| Авторы | Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Роман Владиславович Барсуков,Сергей Николаевич Цыганок,Алексей Николаевич Сливин |
| Название издания | Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности |
