Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Барсуков Р.В., Цыганок С.Н., Сливин А.Н.
| Тип публикации |
Статья в сборнике |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Барсуков Р.В., Цыганок С.Н., Сливин А.Н. |
| Название издания |
Измерения, автоматизация и моделирование в промышленности и научных исследованиях |
| Год публикации |
2005 |
Аннотация
В статье исследуются причины, снижающие эффективность одного из основных процессов при производстве полупроводников – химико-механического полирования (СМР). На основе проведенного анализа и практических экспериментов предлагается возможный путь решения проблем, основанный на использовании ультразвукового распыления полирующей жидкости. Приводятся технические решения, позволившие разработать ультразвуковой аппарат с возможностью встраивания в существующее оборудование для СМР процесса.
Полный текст
