Хмелев В.Н., Левин С.В., Хмелев С.С., Цыганок С.Н.
Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
Авторы |
Хмелев В.Н., Левин С.В., Хмелев С.С., Цыганок С.Н. |
Название издания |
XIV Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2013 |
Дата публикации |
02/07/2013 |
Год публикации |
2013 |
Аннотация
В статье предлагаются правила и последовательность проектирования отдельных составляющих (пьезопреобразователей, бустеров, концентраторов и рабочих инструментов) при создании пьезоэлектрических колебательных систем – источников ультразвукового воздействия на различные технологические процессы. Предложенные правила обеспечивают создание ультразвуковых колебательных систем с необходимыми параметрами ультразвукового воздействия – по мощности, интенсивности излучения, частоте, излучающей поверхности, направлению излучения и т.п.
Полный текст