Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В., Шалунов А.В., Гридчин А.В., Абраменко Д.С.
Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
Авторы |
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В., Шалунов А.В., Гридчин А.В., Абраменко Д.С. |
Название издания |
XII Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2011 |
Дата публикации |
02/07/2011 |
Год публикации |
2011 |
Аннотация
Статья посвящена апробации метола косвенного контроля параметров акустической нагрузки. Представлены результаты измерения параметров акустической нагрузки.
Полный текст