Модуль Контроля Энергетических Характеристик Ультразвуковых Колебательных Систем
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В.
| Тип публикации | Статья в журнале (перевод) |
| Авторы | Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В. |
| Название издания | 20 Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2019 |
| Год публикации | 2019 |
