Хмелев В.Н., Галахов А.Н., Шалунов А.В., Нестеров В.А., Голых Р.Н., Шалунова А.В.
Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
Авторы |
Хмелев В.Н., Галахов А.Н., Шалунов А.В., Нестеров В.А., Голых Р.Н., Шалунова А.В. |
Название издания |
XIV Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2013 |
Дата публикации |
02/07/2013 |
Год публикации |
2013 |
Аннотация
Статья посвящена исследованию процесса распыления жидкости ультразвуковым излучателем в виде диска. Исследованы функциональные возможности ультразвуковых дисковых излучателей при распылении жидкостей. Получены результаты производительности и соответствующих энергозатрат на распыление при использовании различных систем подачи жидкости.
Полный текст