Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В., Хмелев С.С., Попова Н.С.
| Тип публикации |
Статья в сборнике (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Ильченко Е.В., Хмелев С.С., Попова Н.С. |
| Название издания |
16 Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2015 |
| Дата публикации |
02/07/2015 |
| Год публикации |
2015 |
Аннотация
Статья посвящена исследованию интегрального критерия косвенной оценки параметров технологических сред. Проведенные исследования показали, что интегральный критерий, полученный путем интегрирования огибающей тока, протекающего через ультразвуковую колебательную систему, получаемого при перестройке частоты УЗ генератора вблизи резонансной частоты УЗ излучателя, зависит от свойств обрабатываемых технологических сред.
Полный текст
