Телефон и факс:+7 (3854) 43-25-81
Главная → Наука → Публикации → Ультразвуковое Распыление в Технологии Химико-Механического Полирования Полупроводниковых Пластин

Ультразвуковое Распыление в Технологии Химико-Механического Полирования Полупроводниковых Пластин

Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Е. С. Смердина

Тип публикации Conference Paper
Авторы Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Е. С. Смердина
Название издания International Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2006
Импакт фактор издания 5-7782-0646-1

Полный текст

Все публикации

659305, г. Бийск, ул. Трофимова 27, корп. Б, каб. 101-1

+7 (3854) 43-25-81

vnh@u-sonic.ru