Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Абраменко Д.С., Ильченко Е.В., Гридчин А.В.
| Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
| Авторы |
Хмелев В.Н., Барсуков Р.В., Генне Д.В., Абраменко Д.С., Ильченко Е.В., Гридчин А.В. |
| Название издания |
XII Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2011 |
| Дата публикации |
02/07/2011 |
| Год публикации |
2011 |
Аннотация
Рассмотрены вопросы косвенного определения параметров, напрямую связанных с величиной и характером акустического сопротивления сред подвергаемых ультразвуковому воздействию. Предлагаемый способ контроля параметров акустических сред основан на контроле электрических параметров ультразвуковых колебательных систем, которые непосредственно контактируют с обрабатываемыми технологическими средами.
Полный текст
