Телефон и факс:+7 (3854) 43-25-81
Главная → Наука → Публикации → Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов

Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов

Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Роман Владиславович Барсуков,Сергей Николаевич Цыганок,Алексей Николаевич Сливин

Тип публикации Conference Paper
Авторы Владимир Николаевич Хмелев,Андрей Викторович Шалунов,Роман Владиславович Барсуков,Сергей Николаевич Цыганок,Алексей Николаевич Сливин
Название издания Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности

Полный текст

Все публикации

659305, г. Бийск, ул. Трофимова 27, корп. Б, каб. 101-1

+7 (3854) 43-25-81

vnh@bti.secna.ru