Телефон и факс:+7 (3854) 43-25-81
Главная → Наука → Публикации → Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов

Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов

Г. В. Леонов,Андрей Викторович Шалунов,Сергей Николаевич Цыганок,Роман Владиславович Барсуков,Владимир Николаевич Хмелев,Алексей Николаевич Сливин

Тип публикации Conference Paper
Авторы Г. В. Леонов,Андрей Викторович Шалунов,Сергей Николаевич Цыганок,Роман Владиславович Барсуков,Владимир Николаевич Хмелев,Алексей Николаевич Сливин
Название издания Измерения, автоматизация и моделирование в промышленности и научных исследованиях

Полный текст

Все публикации

659305, г. Бийск, ул. Трофимова 27, корп. Б, каб. 101-1

+7 (3854) 43-25-81

vnh@u-sonic.ru