Хмелев В.Н., Ильченко Е.В., Барсуков Р.В., Нестеров В.А., Цыганок С.Н., Рыжова С.Ф.
Тип публикации |
Статья в журнале (перевод) |
Авторы |
Хмелев В.Н., Ильченко Е.В., Барсуков Р.В., Нестеров В.А., Цыганок С.Н., Рыжова С.Ф. |
Название издания |
20 Международная конференция - семинар молодых специалистов по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' 2019 |
Год публикации |
2019 |
Аннотация
Статья посвящена созданию и исследованию комплекса ультразвуковых аппаратов, с рабочими частотами от 15 до 100 кГц, предназначенных для возбуждения колебаний, различных физических объектов.
Полный текст