Ультразвуковое Распыление в Технологии Химико-Механического Полирования Полупроводниковых Пластин

Хмелев В.Н., Шалунов А.В., Смердина Е.С.

International Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2006 01.01.2006

Нужна консультация по подбору оборудования?

Наши инженеры помогут подобрать оптимальное решение для ваших технологических задач. Получите бесплатную консультацию и расчет стоимости.