В статье исследуются причины, снижающие эффективность одного из основных процессов при производстве полупроводников – химико-механического полирования (СМР). На основе проведенного анализа и практических экспериментов предлагается возможный путь решения проблем, основанный на использовании ультразвукового распыления полирующей жидкости. Приводятся технические решения, позволившие разработать ультразвуковой аппарат с возможностью встраивания в существующее оборудование для СМР процесса.